發布時間：2012-10-09

    氧化層表面産生(shēng)各種斑點的主要原因有以下(xià)幾種，一(yī)種是矽片表面處理不淨，殘留着一(yī)些拈污的雜(zá)質微粒，高溫下(xià)沾附在二氧化矽層的表面，形成局部黑點，這種問題隻要認真處理矽片就能消除。另一(yī)種是由于石英管長期使用，處在高溫區域的石英管産生(shēng)白(bái)色薄膜，這種白(bái)色薄膜的結構比較松散，大(dà)氣流吹動或操作時震動就會造成微粒掉下(xià)來.落到矽片表面就會形成氧化層表面局部突起。所以應加強對石英管的清潔處理及适當更換老化的石英管是很有必要的。

    操作時一(yī)定嚴防水滴噴入石英管中(zhōng)，尤其在濕氧或水汽氧化時，當水溫過高，出現爆發性沸騰時，往往會将水珠直接噴入石英管中(zhōng)，如落到矽片上，就會出現彩色花斑。另外(wài)清洗過的矽片上如殘留水迹，也會在氧化片子上出現花斑。當在二氧化矽表面存在斑點時，斑點處的氧化層對雜(zá)質的掩蔽作用可能失效，因此造成器件性能變差，如有較大(dà)的凸起斑點時，還會造成光刻操作質量下(xià)降，影響整個管芯生(shēng)産的成品率，所以生(shēng)産中(zhōng)應盡量避免出現斑點。

    氧化層針孔的産生(shēng)與氧化的方法有關，一(yī)般熱氧化幾乎不産生(shēng)針孔。但是如果矽片的質量不好，有嚴重的位錯，而位錯的地方又(yòu)聚積較多的擴散系數大(dà)的雜(zá)質，例如，銅、鐵等，在這些地方就不能很好地生(shēng)長出二氧化矽層，于是形成氧化層針孔，這些針孔一(yī)般肉眼不易發現，有時也稱盲孔，擴散時它能使雜(zá)質局部穿透，掩蔽失效，從而造成器件漏電增大(dà)，耐壓降低，甚至穿通，或者造成鋁電極與二氧化矽層下(xià)的區域短路。爲了消除針孔，應選擇缺陷少的矽材料，并且表面光潔、平整。清洗時應嚴格操作，防止重金屬雜(zá)質沾污矽片表面。