發布時間：2012-10-09

    人們發現二氧化矽對某些雜(zá)質向矽中(zhōng)擴散能起掩蔽作用，利用這一(yī)性質和光刻技術創造了矽器件平面工(gōng)藝。在生(shēng)産中(zhōng)，因爲要多次重複地進行氧化，所以如何在矽晶體(tǐ)表面生(shēng)長優質二氧化矽的技術，便成爲矽平面工(gōng)藝的基礎。

    爲了保證二氧化矽層的質量，可以采用宏觀和微觀的方法進行檢驗。宏觀法是用平行光燈觀察氧化層表面的質量，微觀可采用化學腐蝕，然後通過顯微鏡進行觀測。下(xià)面介紹一(yī)下(xià)工(gōng)藝中(zhōng)常用的方法及出現的問題。

    測量氧化層厚度通常采用兩種方法，即比色法和幹涉法。

    比色法：生(shēng)産中(zhōng)發現，不同厚度的氧化層，呈現出不同的顔色，随着厚度的增加，顔色從灰色逐步變到紅色，當厚度繼續增加時，氧化層顔色從紫色到紅色周期性變化，因此人們制備了顔色與厚度之間關系的表，用來粗略地估算氧化層厚度。在氧化條件已定，工(gōng)藝穩定的情況下(xià)，采用這種方法是簡單、方便的。

    另一(yī)種測氧化層厚度的方法是雙光幹涉法，它是利用氧化層台階上幹涉條紋數目來求氧化層的厚度，其優點是設備簡單，并且測量準确。

    測量氧化層厚度首先要制備氧化層的台階，在樣片的二氧化矽層上用黑膠或真空油脂保護一(yī)定區域，然後放(fàng)入氫氟酸中(zhōng)，将未保護的二氧化矽層腐蝕掉，腐蝕時采用稀釋的氫氟酸效果較好，氧化層的台階較寬，另外(wài)時間不宜過長。腐蝕好以後，用甲苯或丙酮将黑膠擦掉，在沒有腐蝕二氧化矽層的邊緣處呈現一(yī)台階，台階越寬，顯示出的幹涉條紋，就越清楚，側量也準确。